蒸發(fā)臺(tái)配件中行星盤(pán)占了很大的比重。金屬化是半導(dǎo)體芯片制造過(guò)程中在絕緣介質(zhì)薄膜上沉積金屬薄膜以及隨后刻印圖形以便形成金屬互連金屬線(xiàn)和集成電路的孔填充塞的過(guò)程，半導(dǎo)體制造設(shè)備電子束蒸發(fā)臺(tái)是將待蒸發(fā)的材料放置進(jìn)坩堝，在真空系統(tǒng)中用電子束加熱并使其蒸發(fā)，撞擊到硅片表面凝結(jié)形成金屬薄膜。

現(xiàn)有技術(shù)中影響電子束蒸發(fā)臺(tái)工藝穩(wěn)定的因素主要有兩個(gè)面：電子槍的功率，載片行星鍍鍋的角度和轉(zhuǎn)速等，行星鍍鍋是安裝在行星架上然后進(jìn)行自轉(zhuǎn)，行星架的穩(wěn)定運(yùn)行直接決定了設(shè)備的工藝參數(shù)，而現(xiàn)有技術(shù)中的行星架的旋轉(zhuǎn)是通過(guò)驅(qū)動(dòng)電機(jī)的旋轉(zhuǎn)來(lái)帶動(dòng)的，驅(qū)動(dòng)電機(jī)在旋轉(zhuǎn)的時(shí)候具有一定的震動(dòng)此種震動(dòng)本身就影響電子束蒸發(fā)臺(tái)行星架旋轉(zhuǎn)的穩(wěn)定性，其次電子束蒸發(fā)臺(tái)行星架的旋轉(zhuǎn)盤(pán)在環(huán)形軌道上運(yùn)行時(shí)間久了結(jié)構(gòu)強(qiáng)度減弱變形也是導(dǎo)致不穩(wěn)定的因素，另外在旋轉(zhuǎn)盤(pán)的調(diào)節(jié)上過(guò)于復(fù)雜化，調(diào)節(jié)不夠便捷而且容易震動(dòng)為此涉及一種電子束蒸發(fā)臺(tái)行星架及其使用方法來(lái)解決上述問(wèn)題。

丹東正芯微電子科技有限公司是一家專(zhuān)業(yè)生產(chǎn)、加工各種蒸發(fā)臺(tái)配件的高新民營(yíng)企業(yè)。主營(yíng)注入機(jī)、濺射臺(tái)、蒸發(fā)臺(tái)等半導(dǎo)體設(shè)備核心配件及相關(guān)系列配件。我公司還生產(chǎn)加工上千種電子設(shè)備零備件，如擴(kuò)散爐、刻蝕機(jī)、CVD、背銀機(jī)、減速機(jī)、機(jī)械泵等，圖片未列產(chǎn)品或有特殊需要，詳情電話(huà)咨詢(xún)（0415-3196990 ）或郵箱聯(lián)系（zsunsale@163.com）。