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蒸發(fā)臺(tái)坩堝表面容易結(jié)塊怎么解決

發(fā)布時(shí)間:2023-06-06
蒸發(fā)臺(tái)鉗鍋系統(tǒng)是半導(dǎo)體元件硅片生產(chǎn)的重要設(shè)備,主要有瓷器和玻璃兩種分類,利用電子束加熱坩堝中的金屬顆粒,使其蒸發(fā)撞擊到硅片表面。

蒸發(fā)臺(tái)鉗鍋系統(tǒng)是半導(dǎo)體元件硅片生產(chǎn)的重要設(shè)備,主要有瓷器和玻璃兩種分類,利用電子束加熱坩堝中的金屬顆粒,使其蒸發(fā)撞擊到硅片表面。

造成蒸發(fā)臺(tái)鉗鍋表面容易結(jié)塊一般是由于以下幾點(diǎn)造成的。

1、坩堝表面沒(méi)有被清潔干凈,有殘留的油脂,污垢等;

2、蒸發(fā)鍍膜溫度過(guò)高,使得油脂在表面結(jié)塊;

3、蒸發(fā)鍍膜溶液中的溶劑濃度過(guò)高,使得油脂在表面結(jié)塊。

大家知道為什么蒸發(fā)臺(tái)鉗鍋表面容易結(jié)塊的問(wèn)題原因后,給大家提供一種有效的解決辦法,

1、將坩堝表面清潔干凈,去掉殘留的油脂、污垢等;

2、將蒸發(fā)鍍膜溫度降低,使得油脂不會(huì)在表面結(jié)塊;

3、將蒸發(fā)鍍膜溶液中的溶劑濃度降低,使得油脂不會(huì)在表面結(jié)塊。

希望以上方法可以幫助到大家,丹東正芯微電子科技有限公司可按用戶要求加工各種蒸發(fā)臺(tái)鉗鍋,還生產(chǎn)加工上千種電子設(shè)備零備件,如擴(kuò)散爐、刻蝕機(jī)、CVD、背銀機(jī)、減速機(jī)、機(jī)械泵等,圖片未列產(chǎn)品或有特殊需要,詳情電話咨詢(0415-3196990 )或郵箱聯(lián)系(zsunsale@163.com)。