在東北老工業(yè)基地遼寧，以半導(dǎo)體為主業(yè)的遼籍上市公司已有5家，若再加上新三板公司中科儀、現(xiàn)有業(yè)務(wù)囊括半導(dǎo)體裝備業(yè)務(wù)的新松機(jī)器人、擬上市企業(yè)和研科技等，遼籍半導(dǎo)體設(shè)備配件和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群已經(jīng)初具規(guī)模。

據(jù)遼寧省半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會秘書長、富創(chuàng)精密董事長兼總經(jīng)理鄭廣文介紹，早在本世紀(jì)初期，遼寧省相關(guān)政府部門、學(xué)界人士和企業(yè)家通過多次討論達(dá)成共識，將半導(dǎo)體設(shè)備配件和半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)確定為發(fā)展方向，經(jīng)過20多年的不懈努力，厚積薄發(fā)，如今終于迎來收獲期。

據(jù)介紹，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中游為整機(jī)設(shè)備制造商，目前遼寧省擁有芯源微、拓荊科技、儀表院等企業(yè)，可以進(jìn)行薄膜設(shè)備、涂膠顯影機(jī)、劃片機(jī)等半導(dǎo)體整機(jī)制造和系統(tǒng)集成。半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈下游主要應(yīng)用于集成電路制造、封測企業(yè)，目前遼寧從事集成電路制造的企業(yè)主要是中電科第47所和儀表院等研究部門。

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