半導體設備配件主要零部件的國產化程度取決于不同公司和產品的情況，一般來說，國內半導體設備配件的主要零部件包括電子元器件、機械零部件、光學元件等。

在電子元器件方面，國內一些公司已經能夠生產一些優(yōu)良的電子元器件，如功率器件、傳感器等，但在一些特殊的優(yōu)良電子元器件方面，還是需要依賴進口。機械零部件方面，國內的機械制造水平較高，能夠生產各種精密的機械零部件，如軸承、齒輪等。而在光學元件方面，國內的光學制造技術也在不斷提升，能夠生產一些高質量的光學元件。

總的來說，國內半導體設備配件主要零部件的國產化程度正在不斷提高，但在一些優(yōu)良、特殊的零部件方面還是需要依賴進口。隨著國內技術的不斷進步和產業(yè)的發(fā)展，相信國內半導體設備配件的國產化程度會越來越高。