注入機(jī)離子源燈絲燒斷的原因可能有以下幾點：

電流過載：通過燈絲的電流超過其承受能力。

頻繁啟停：頻繁啟動和停止離子源，使燈絲受到較大的熱沖擊。

真空度問題：真空環(huán)境不良，影響燈絲散熱。

燈絲質(zhì)量問題：燈絲本身存在缺陷或質(zhì)量不佳。

注入機(jī)離子源燈絲燒斷后，應(yīng)立即停機(jī)檢查，確定具體情況。然后選用合適的新注入機(jī)離子源燈絲進(jìn)行更換，注意新燈絲的規(guī)格和性能要與原燈絲匹配。更換完畢后，還需進(jìn)行調(diào)試和測試，以確保離子注入機(jī)恢復(fù)正常工作，保障離子源的性能。

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