很多人都不太清楚半導(dǎo)體設(shè)備配件、模組的分類，每個半導(dǎo)體設(shè)備配件分類國產(chǎn)化的情況和難度的排序，下面就讓小編來給大家介紹一下。

半導(dǎo)體設(shè)備配件分類：

模組件：分為EFEM（傳送模塊）、傳送腔體、反應(yīng)腔體，還有部署設(shè)備（氣柜、電柜）、清洗組件、冷卻組件（CM）。

零部件：

1）金屬件：一般包括鋁錠（純鋁，用作腔體）、不銹鋼（用作骨架）、鋁合金為原料制作的產(chǎn)品，目前國產(chǎn)化率較多。

2）非金屬件：陶瓷件、石英件、石墨。

3）氣柜：主要用世偉洛克的產(chǎn)品；其中的氣體管路等配件主要用的SMC、VAT的產(chǎn)品。氣柜產(chǎn)品有的是廠家自己制作的，有的是委托下游廠商制作的，例如富士金、VAT、UCT。

4）儀表類：主要是流量計(jì)，目前主要用SMC和日本津市的多一些。

5）射頻電源：主要用的MKS產(chǎn)品。

6）閥門：主要用的VAT和SMC，VAT的產(chǎn)品是用的較多的，國內(nèi)也是用這兩家多一些。但是應(yīng)材的產(chǎn)品是自己定制的，不采用現(xiàn)有的模塊。

7）泵：常用的就是德國普旭和愛德華，愛德華用的是較多的。

8）管路連接：與氣柜連接的管路主要是四家的產(chǎn)品，MKS、VAT、UCT、富士金。

國產(chǎn)化進(jìn)度：目前不論是國內(nèi)還是國外設(shè)備廠商都是用的上面這些廠商的產(chǎn)品，很少用國內(nèi)沒有認(rèn)證的零部件產(chǎn)品。除了金屬加工件這種常見的產(chǎn)品外，其他的氣體管路、氣柜、儀表、電源、閥門、泵之類的，都是用的國外零件。

半導(dǎo)體設(shè)備配件加工的難易程度：

1）非金屬類產(chǎn)品加工是難度大的，交期可能8~10個月。例如石英件、陶瓷件的加工等，可能都是以國外為主。國內(nèi)的大和熱磁，目前是國內(nèi)用的最多的。

2）其次是配置類，基本上都是被國外所壟斷，包括精度高一點(diǎn)的各種流量計(jì)，這些東西是被國外壟斷的，交期也非常長，有時還涉及到一些政治因素。

3）第三是氣柜模組部分。

4）最后是金屬加工的部分。

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